Qu’est-ce que l’EBSD – composants du détecteur EBSD

La diffraction électronique rétrodiffusée (EBSD) est une technique basée sur un microscope électronique à balayage (MEB) qui fournit des informations cristallographiques sur la microstructure d'un échantillon. Dans l’EBSD, un faisceau d'électrons interagit avec un échantillon cristallin incliné et génère un cliché. Le cliché est caractéristique de l'orientation cristalline de l'échantillon où il a été généré. Par conséquent, le cliché peut être utilisé pour déterminer l'orientation des cristaux, faire la distinction entre des phases cristallographiquement différentes, caractériser les joints de grains et fournir des informations sur les imperfections cristallines.

Cette deuxième série de blog couvrira la préparation d’échantillon, la génération de clichés Kikuchi, des conseils pour l’acquisition des données, la diffraction en transmission des clichés Kikuchi (TKD) et bien d’autres sujets.

Un système EBSD se compose de nombreuses parties qui sont toutes nécessaires pour effectuer votre analyse EBSD.

• Un échantillon cristallin incliné à 70° par rapport à l'horizontale, en utilisant la platine MEB ou un support pré-incliné.
• Un écran au phosphore, qui est fluorescent par les électrons diffusés à partir de l'échantillon.
• Une caméra CMOS avec des optiques pour visualiser le cliché formé sur l'écran au phosphore.
• Un mécanisme d'insertion, qui contrôle avec précision la position du détecteur lorsqu'il est utilisé, et rétracte le détecteur dans une position sûre lorsqu'il n'est pas utilisé pour éviter toute interférence avec le fonctionnement du MEB. Nos détecteurs sont couplés à des capteurs de proximité pour éviter les collisions dans le microscope. Un mécanisme contrôle l'interface d'inclinaison qui est auto-calibrée afin que la position du détecteur puisse être optimisée pour l'indexation de différentes tailles et géométries d'échantillons.
• De l’électronique pour contrôler le MEB, y compris les mouvements du faisceau et de la platine.
• Un ordinateur et un logiciel pour contrôler les expériences EBSD, collecter et analyser les clichés et afficher les résultats.
• Six diodes 'forescatter' (FSD) montées autour de l'écran au phosphore, utilisées pour générer des images de microstructure de l'échantillon avant de collecter les données EBSD.
• Un logiciel de post-traitement pour analyser les données collectées.
• Le système EBSD peut être intégré à un système EDS pour l’analyse simultanée.

Figure 1. (à gauche) Les composants d'un système EBSD. (à droite) Acquisition simultanée de données EDS et EBSD.

Dans ce blog, nous avons introduit les différents éléments d’un système EBSD. Dans le prochain blog EBSD, nous discuterons de l’interprétation des clichés Kikuchi.

Les détecteurs EBSD sont courants dans les microscopes électroniques à balayage. Pour en savoir plus sur l’EBSD ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.

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