La spectroscopie de rayons X à dispersion de longueur d'onde ou ‘Wavelength Dispersive spectroscopy’ (WDS) permet une analyse élémentaire et chimique d'un échantillon à l'intérieur d’un microscope électronique (MEB, MET, FIB) ou d’une microsonde. Les détecteurs WDS d'Oxford Instruments fonctionnent sur le logiciel AZtecWave, un système révolutionnaire de caractérisation des matériaux qui recueille des données précises à l'échelle micro et nanométrique.

Cette série de blogs servira d'introduction au WDS et couvrira la préparation d'échantillons, la génération de rayons X, l'analyse qualitative et quantitative, et bien d’autres sujets.

Les techniques de microanalyse à rayons X, la spectroscopie à dispersion de longueur d'onde (WDS) et la spectroscopie de rayons X à dispersion d’énergie (EDS) utilisent les rayons X caractéristiques générés à partir d'un échantillon bombardé d'électrons pour identifier les constituants élémentaires composant l'échantillon. Les deux techniques génèrent un spectre dans lequel les pics correspondent à des lignes de rayons X spécifiques et les éléments peuvent être facilement identifiés. Des données quantitatives peuvent également être obtenues en comparant les hauteurs avec un matériau standard.

Des deux méthodes, l'EDS est la plus couramment utilisée. La collecte et l'analyse des données avec l’EDS est un processus relativement rapide et simple car le spectre complet des énergies est acquis simultanément. À l'aide du WDS, le spectre est acquis de manière séquentielle pendant que toute la gamme de longueurs d'onde est balayée. Bien qu'il faille plus de temps pour acquérir un spectre complet, la résolution WDS est améliorée par rapport à l'EDS. La résolution typique d'un détecteur EDS est de 70 à 130 eV (selon l'élément), tandis que les largeurs de pic dans le WDS sont de 2 à 20 eV. La combinaison d'une meilleure résolution et de la capacité de gérer des taux de comptage plus élevés permet au WDS de détecter des éléments à une concentration généralement inférieure à celle de l'EDS.

Alors que la technique WDS a toujours été appréciée pour sa résolution plus élevée et sa capacité d’analyser les éléments traces, elle a été traditionnellement considérée comme plus complexe à mettre en place et les données WDS plus fastidieuses à obtenir et à interpréter que l'EDS. Je vais vous montrer dans cette série de blogs que ce n'est plus forcément le cas.

Figure 1. Les composants internes d'un détecteur WDS.

Dans le prochain blog WDS, nous discuterons de l'évolution de la technique WDS.

Les spectromètres WDS sont courants dans les microscopes électroniques à balayage et les microsondes. Pour en savoir plus sur WDS ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.

blog suivant>>