Qu’est-ce que l’EDS – introduction à l'analyse EDS en MET

La spectroscopie à dispersion d'énergie (EDS) permet une analyse élémentaire et chimique d'un échantillon à l'intérieur d’un microscope électronique (MEB, MET, FIB) ou d’une microsonde. Les détecteurs EDS d'Oxford Instruments fonctionnent sur la plate-forme logicielle AZtec, un système révolutionnaire de caractérisation des matériaux qui recueille des données précises à l'échelle micro et nanométrique.

Cette série de blogs servira d'introduction à l'analyse EDS en MET et couvrira la préparation d'échantillons, la génération de rayons X, l'analyse qualitative et quantitative, et bien d’autres sujets. Dans l’article précédent, nous avons parlé de l'analyse quantitative sans standard. 

Les microscopes électroniques en transmission (MET) modernes peuvent être considérés comme des outils analytiques complexes qui fournissent des informations sur la structure, la cristallographie et la chimie des matériaux. Il peut s'agir d'instruments plus simples dotés d'une source d'électrons thermoioniques pouvant fournir des informations limitées, telles que l'imagerie en champ clair et en champ sombre pour l'interprétation visuelle des structures et la diffraction par zone sélectionné pour les informations cristallographiques. À l'autre extrémité de la gamme, il existe des instruments avec un canon à émission de champ (FEG) avec des correcteurs d'aberrations qui permettent l'étude des structures à l'échelle atomique avec un éventail de techniques disponibles. Ceux-ci inclus l'imagerie au niveau atomique, microscopie électronique à transmission à balayage (STEM), nano-diffraction, spectroscopie de perte d'énergie (EELS) et spectroscopie à dispersion d'énergie (EDS). Pour la plupart des applications en science des matériaux, une tension d'accélération minimale de 200 kV est requise pour la pénétration de l'échantillon et la capacité d'analyse sous la forme d'EDS et éventuellement d'EELS. Les MET à correction d'aberration sont capables de cartographier les éléments de colonne atomique et d'imagerie au niveau du picomètre, et seront discutés dans un futur article de blog.

Figure 1. Coupe transversale MET montrant les lentilles et la position de l'échantillon.

Dans le prochain blog EDS, nous discuterons des fondamentaux de la technique MET.

Les spectromètres EDS sont courants dans les microscopes électroniques à balayage, les microscopes électroniques à transmission et les microsondes. Pour en savoir plus sur l’EDS ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.

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