La spectroscopie à dispersion d'énergie (EDS) permet une analyse élémentaire et chimique d'un échantillon à l'intérieur d’un microscope électronique (MEB, MET, FIB) ou d’une microsonde. Les détecteurs EDS d'Oxford Instruments fonctionnent sur la plate-forme logicielle AZtec, un système révolutionnaire de caractérisation des matériaux qui recueille des données précises à l'échelle micro et nanométrique.

Cette sous-série de blogs servira d'introduction à l'EDS analyse en MET et couvrira la préparation d'échantillons, la génération de rayons X, l'analyse qualitative et quantitative, et bien d’autres sujets. Dans l'article précédent, nous avons discuté du pic de bruit. Ici nous traiterons de l'effet du binning ou regroupement sur les données EDS.

Lorsque le faisceau d'électrons balaye une ligne ou une zone de l'échantillon, des données sont acquises à partir de nombreux points. Inévitablement, le signal de chaque point comprend du bruit. Si les données ne sont pas acquises suffisamment longtemps, le niveau de bruit sera élevé. En combinant les signaux de plusieurs points voisins, la technique de binning produit un signal moyenné, qui a globalement moins de bruit. L'effet est similaire à la collecte des données d'origine à une résolution inférieure et un temps de séjour plus long. Dans la figure 1, le regroupement est effectué sur chaque carré 2 x 2 des données d'origine.

Figure 1. L'effet du binning sur les pixels

Examinons-nous maintenant l'effet du regroupement sur les cartes. Un facteur de regroupement de quatre combine 16 pixels adjacents de chaque carré 4x4 en un nouveau pixel (figure 2).

Figure 2. L'effet du regroupement sur les cartes.

Le regroupement est utile lorsque vous utilisez le mode TruMap ou QuantMap pour la cartographie en raison des statistiques améliorées. Le regroupement permet également à AutoLayer de combiner des cartes similaires avec plus de succès en raison du bruit réduit. Nous avons expliqué dans ce blog l'effet du binning sur les données EDS. Dans le prochain article, nous traiterons des spécifications d'une fenêtre de détecteur EDS.

Les spectromètres EDS sont courants dans les microscopes électroniques à balayage, les microscopes électroniques à transmission et les microsondes. Pour en savoir plus sur EDS ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.

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