La spectroscopie à dispersion d'énergie (EDS) permet une analyse élémentaire et chimique d'un échantillon à l'intérieur d’un microscope électronique (MEB, MET, FIB) ou d’une microsonde. Les détecteurs EDS d'Oxford Instruments fonctionnent sur la plate-forme logicielle AZtec, un système révolutionnaire de caractérisation des matériaux qui recueille des données précises à l'échelle micro et nanométrique.

Cette sous-série de blogs servira d'introduction à l'EDS analyse en MET et couvrira la préparation d'échantillons, la génération de rayons X, l'analyse qualitative et quantitative, et bien d’autres sujets. Dans l'article précédent, nous avons discuté des pics d’empilement. Ici nous traiterons du pic de bruit.

Dans un spectre de rayons X, un pic de bruit apparaît parfois près du niveau de tension zéro. Cette petite quantité de bruit électrique est toujours présente dans tous les types de détecteur, Figure 1.

Figure 1. Petit pic de bruit visible près du niveau de tension zéro.

Les pics à des énergies inférieures à 1 keV peuvent indiquer divers éléments (tels que la raie Kα pour le carbone, la raie Lα pour le calcium ou la raie Mα pour le lanthane). Un pic de bruit peut prêter à confusion car il semble représenter un élément mais n'a pas d'étiquette. Vous pouvez choisir de masquer ce pic en spécifiant une tension de coupure inférieure à 1 keV, ce qui supprime les valeurs d'énergie inférieures du spectre.

Une autre raison de masquer le pic de bruit est lorsque celui-ci est très élevé. Dans ce cas, le pic de bruit détermine la valeur maximale des comptes lorsque vous réinitialisez l'échelle verticale du spectre. Ceci est illustré à gauche dans la figure 2. Si vous excluez cet effet, vous pouvez comparer plus facilement les proportions des éléments, comme illustré à droite sur la figure 2.

Figure 2. A gauche, un exemple de pic de bruit déterminant la valeur maximale des décomptes lors de la réinitialisation de l'échelle verticale du spectre. À droite, l'exclusion du pic de bruit permet une comparaison plus facile de la proportion d'éléments dans le spectre.

Nous avons expliqué dans ce blog ce qu’est le pic de bruit. Dans le prochain article, nous traiterons de l'effet du binning ou regroupement sur les données EDS.

Les spectromètres EDS sont courants dans les microscopes électroniques à balayage, les microscopes électroniques à transmission et les microsondes. Pour en savoir plus sur EDS ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.

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