La spectroscopie de rayons X à dispersion de longueur d'onde ou ‘Wavelength Dispersive spectroscopy’ (WDS) permet une analyse élémentaire et chimique d'un échantillon à l'intérieur d’un microscope électronique (MEB, MET, FIB) ou d’une microsonde. Les détecteurs WDS d'Oxford Instruments fonctionnent avec le logiciel AZtecWave, qui recueille des données précises à l'échelle micro et nanométrique.

Cette série de blogs servira d'introduction au WDS et couvrira la préparation d'échantillons, la génération de rayons X, l'analyse qualitative et quantitative, et bien d’autres sujets.

Dans le dernier article de blog, nous avons parlé des détecteurs WDS. Nous discuterons ici de la géométrie du spectromètre WDS.

Pour maintenir la relation géométrique correcte entre l'échantillon, le cristal et le détecteur pour toute la gamme des angles diffractés, il est nécessaire de maintenir les trois sur le cercle de Rowland (Figure 1). Ceci est accompli par un goniomètre mécanique qui déplace le cristal et le détecteur de sorte que des conditions de diffraction correctes sont maintenues. Si un spectromètre est monté avec le cercle de Rowland vertical (comme c'est généralement le cas sur les microsondes dédiées), il est nécessaire de positionner la hauteur de l'échantillon très précisément pour maintenir la géométrie de diffraction. Pour analyser un élément particulier, il est important que le cristal et le détecteur soient positionnés avec précision et que l'électronique de comptage associée soit configurée correctement. Dans le passé, il s'agissait d'une procédure fastidieuse et complexe, mais l'automatisation et le contrôle par PC ont rendu le fonctionnement du WD très simple, routinier et fiable.

Figure 1. Géométrie du détecteur WDS

Dans cet article, nous avons discuté de la géométrie du spectromètre WDS. Dans le prochain article, nous comparerons l'analyse EDS et WDS.

Les spectromètres WDS sont courants dans les microscopes électroniques à balayage et les microsondes. Pour en savoir plus sur le WDS ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.

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