La spectroscopie de rayons X à dispersion de longueur d'onde ou ‘Wavelength Dispersive spectroscopy’ (WDS) permet une analyse élémentaire et chimique d'un échantillon à l'intérieur d’un microscope électronique (MEB, MET, FIB) ou d’une microsonde. Les détecteurs WDS d'Oxford Instruments fonctionnent avec le logiciel AZtecWave, qui recueille des données précises à l'échelle micro et nanométrique.

Cette série de blogs servira d'introduction au WDS et couvrira la préparation d'échantillons, la génération de rayons X, l'analyse qualitative et quantitative, et bien d’autres sujets.

Dans le dernier article de blog, nous avons parlé de la géométrie du spectromètre WDS. Nous comparerons ici l’EDS et le WDS.

Grâce à l'EDS, toutes les énergies des rayons X caractéristiques incidentes sur le détecteur sont mesurées simultanément et l'acquisition des données est donc très rapide sur l'ensemble du spectre. Cependant, la résolution d'un détecteur EDS est considérablement moins bonne que celle d'un spectromètre WDS.

Le spectromètre WDS peut acquérir un taux de comptage élevé des rayons X produits à des courants de faisceau élevés, car il mesure une seule longueur d'onde à la fois. Ceci est important pour l'analyse des éléments traces. La résolution du détecteur EDS est telle que des situations peuvent survenir dans lesquelles le chevauchement de pics adjacents devient un problème. De nombreux chevauchements peuvent être traités par déconvolution des pics. D'autres cependant, sont plus difficiles, en particulier s'il n'y a qu'une petite quantité de l'un des éléments superposés. Des exemples de ces situations de chevauchement plus difficiles sont répertoriés dans le tableau ci-dessous.

En pratique, il est avantageux d'utiliser la rapidité de l'EDS pour une enquête initiale sur un échantillon inconnu car les éléments majeurs seront rapidement identifiés. Cependant, si des éléments traces sont présents, ils ne seront pas identifiés et il peut être difficile d'interpréter des chevauchements complexes. Suite à l’utilisation ED initiale, WD peut être utilisé pour vérifier les chevauchements et pour augmenter la sensibilité aux éléments traces.

Dans cet article, nous avons discuté de la géométrie du spectromètre WDS. Dans le prochain article, nous comparerons la résolution de l’EDS et du WDS.

Les spectromètres WDS sont courants dans les microscopes électroniques à balayage et les microsondes. Pour en savoir plus sur le WDS ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.

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