Qu’est-ce que l’EBSD – l’indexation automatique des EBSPs 

La diffraction électronique rétrodiffusée (EBSD) est une technique basée sur un microscope électronique à balayage (MEB) qui fournit des informations cristallographiques sur la microstructure d'un échantillon. Dans l’EBSD, un faisceau d'électrons interagit avec un échantillon cristallin incliné et génère un cliché. Le cliché est caractéristique de l'orientation cristalline de l'échantillon où il a été généré. Par conséquent, le cliché peut être utilisé pour déterminer l'orientation des cristaux, faire la distinction entre des phases cristallographiquement différentes, caractériser les joints de grains et fournir des informations sur les imperfections cristallines.

Cette deuxième série de blog couvrira la préparation d’échantillon, la génération de clichés Kikuchi, des conseils pour l’acquisition des données, la diffraction en transmission des clichés Kikuchi (TKD) et bien d’autres sujets. Dans l’article précédent, nous avons parlé de la correction de bruit de fond des EBSPs. Dans ce blog, nous traiterons de l’indexation automatique des EBSPs.

Dans AZtec, les EBSP sont automatiquement indexés et l'orientation des cristaux calculée. Ceci est accompli en utilisant les étapes suivantes :

1. L'EBSP est collecté. Le diagramme de diffraction est transféré de la caméra à l'intérieur du détecteur au logiciel EBSD.

2. La transformée de Hough est utilisée pour convertir les bandes de Kikuchi dans l'EBSP en points lumineux dans l'espace de Hough. L'avantage de faire cela est qu'il devient beaucoup plus facile d'automatiser l'identification des bandes dans l'image d'entrée, car les lignes droites sont converties en points discrets.

3. Les positions des bandes Kikuchi sont identifiées.

4. Après avoir identifié les positions des bandes Kikuchi et connaissant la géométrie du système EBSD calibré, les angles interplanaires entre les bandes détectées sont calculés. Cela sera presenté dans un blog à venir.

5. Les angles interplanaires calculés sont comparés à une liste d'angles interplanaires théoriques basée sur le nombre sélectionné de plans réfléchissants (réflecteurs) pour chacune des phases (en utilisant des groupes de quatre bandes).

6. Les solutions possibles sont triées pour trouver le meilleur ajustement et la matrice d'orientation est calculée.

7. La phase et l'orientation avec la meilleure correspondance sont stockées, Figure 1.

Figure 1. (Gauche) Cliché Kikuchi de silicium collecté à une tension d'accélération de 20 kV (Droite) Cliché Kikuchi indexé par le logicielle d’Oxford Aztec avec la croix bleue indiquant la position du centre du diagramme.

Dans ce blog, nous avons parlé de l’indexation automatique des EBSP. Dans le prochain blog EBSD, nous discuterons plus en détail de la transformée de Hough.

Certains futurs articles de blog seront composés de courtes vidéos de 30 secondes à une minute répondant aux questions des clients. Si vous avez une question à laquelle vous aimeriez recevoir une réponse au format vidéo, veuillez nous envoyer un email.

Les détecteurs EBSD sont courants dans les microscopes électroniques à balayage. Pour en savoir plus sur l’EBSD ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.

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