La spectroscopie à dispersion d'énergie (EDS) permet une analyse élémentaire et chimique d'un échantillon à l'intérieur d’un microscope électronique (MEB, MET, FIB) ou d’une microsonde. Les détecteurs EDS d'Oxford Instruments fonctionnent sur la plate-forme logicielle AZtec, un système révolutionnaire de caractérisation des matériaux qui recueille des données précises à l'échelle micro et nanométrique.

Cette sous-série de blogs servira d'introduction à l'EDS analyse en MET et couvrira la préparation d'échantillons, la génération de rayons X, l'analyse qualitative et quantitative, et bien d’autres sujets. Dans l'article précédent, nous avons introduit l’analyse quantitative en MET.

Correction de pics d’empilement

Dans certaines circonstances, les taux de comptage peuvent être si élevés qu'une accumulation d'impulsions se produit. Cela est dû au fait que deux photons X ou plus sont comptés simultanément et qu'un pic résultant se produit sous la forme d'un pic de somme. Par exemple, si deux rayons X Si Kα sont comptés en même temps, un pic est généré à 3,48 keV, soit le double de la valeur de 1,74 Kev normalement attribuée à Si Kα. Un logiciel de correction est intégré au logiciel AZtec d'Oxford Instruments pour corriger cet artefact, Figure 1. Non seulement le pic de somme est supprimé, mais les comptages sont redistribués au pic Si Kα afin que les résultats quantitatifs ne soient pas affectés. Il est important que ces pics de somme soient détectés et traités car non seulement le quant sera affecté mais ces pics peuvent être mal identifiés et attribués à un autre élément.

Figure 1. Correction de pics d'empilement

Dans le prochain blog EDS, nous discuterons du Fast Mapping et des Linescans avec des SDD dans un MET.

Les spectromètres EDS sont courants dans les microscopes électroniques à balayage, les microscopes électroniques à transmission et les microsondes. Pour en savoir plus sur EDS ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.

<<blog précédent

blog suivant>>