La spectroscopie de rayons X à dispersion de longueur d'onde ou ‘Wavelength Dispersive spectroscopy’ (WDS) permet une analyse élémentaire et chimique d'un échantillon à l'intérieur d’un microscope électronique (MEB, MET, FIB) ou d’une microsonde. Les détecteurs WDS d'Oxford Instruments fonctionnent avec le logiciel AZtecWave, qui recueille des données précises à l'échelle micro et nanométrique.

Cette série de blogs servira d'introduction au WDS et couvrira la préparation d'échantillons, la génération de rayons X, l'analyse qualitative et quantitative, et bien d’autres sujets. Dans le dernier article de blog, nous avons comparé les détecteurs AztecWave 500 et 700 WDS. Ici nous traiterons d’AztecWave Max+.

L'AztecWave Max + est une interface à volets, avec un disque d'ouverture rotatif. Le détecteur Ultim Max peut être rétracté derrière l'ouverture, collimatant le signal de rayons X, permettant l'acquisition EDS sur une plus large gamme de courants de faisceau. Cela étend la plage EDS opérationnelle d'un microscope électronique à balayage pour acquérir des données EDS de haute qualité simultanément avec le WDS, dans des conditions de courant de faisceau élevé.

Figure 1. Interface Max+, volet et molette d'ouverture

Le Max + n'affecte pas les performances du détecteur Ultim Max lorsqu'il est complètement inséré, pour une nanoanalyse à haute sensibilité et à angle solide élevé. Au lieu de cela, il étend la plage de courants de faisceau à laquelle le détecteur Ultim Max peut collecter des données EDS, correspondant parfaitement à la plage requise pour tous les types d'analyse WDS. Il permet également de collecter les spectres EDS à une résolution optimale pour une analyse quantitative précise lorsqu'il est combiné avec le WDS.

Le disque d'ouverture rotatif dans le volet Max + a 5 tailles d'ouvertures sélectionnables et 1 blanc, permettant une analyse quantitative à des courants de faisceau supérieurs à 1000 nA.

Dans cet article, nous avons parlé d’AztecWave Max+. Dans le prochain blog, nous traiterons des standards de l'analyse WDS. Les spectromètres WDS sont courants dans les microscopes électroniques à balayage et les microsondes. Pour en savoir plus sur le WDS ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.

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