La spectroscopie à dispersion d'énergie (EDS) permet une analyse élémentaire et chimique d'un échantillon à l'intérieur d’un microscope électronique (MEB, MET, FIB) ou d’une microsonde. Les détecteurs EDS d'Oxford Instruments fonctionnent sur la plate-forme logicielle AZtec, un système révolutionnaire de caractérisation des matériaux qui recueille des données précises à l'échelle micro et nanométrique.

Cette sous-série de blogs servira d'introduction à l'EDS analyse en MET et couvrira la préparation d'échantillons, la génération de rayons X, l'analyse qualitative et quantitative, et bien d’autres sujets. Dans l'article précédent, nous avons discuté de l’angle solide et de son rôle dans l’acquisition des données EDS. Nous traiterons ici de l’angle de décollage (take off angle en anglais) et de son rôle dans l’acquisition des données EDS.

L'angle de décollage est l'angle par lequel les rayons X émis par l'échantillon entrent dans le détecteur par rapport à l'orientation de l'échantillon. Si un échantillon est placé perpendiculairement à un faisceau d'électrons dans le microscope, l'angle de décollage est l'angle entre les rayons X atteignant le détecteur et l'échantillon perpendiculaire. Un exemple de ceci est présenté dans la figure 1. La modification de cet angle peut affecter la précision de l'analyse quantitative. Au fil des années, l'angle de décollage a considérablement varié. Aujourd'hui, la plupart des détecteurs sont placés le plus près possible de l'échantillon pour augmenter l'angle solide. Celui-ci joue à son tour un rôle dans la tuile du détecteur EDS qui contribue à la mesure de l'angle solide.

Figure 1. Géométrie d’un faisceau d’électrons, échantillon, détecteur EDS et angle de décollage.

Nous avons parlé dans ce blog de l'angle de décollage et de son rôle dans un détecteur EDS. Dans le prochain article, nous traiterons du rôle de la résolution spectrale pour les spectres EDS.

Les spectromètres EDS sont courants dans les microscopes électroniques à balayage, les microscopes électroniques à transmission et les microsondes. Pour en savoir plus sur EDS ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.

<<blog précédent