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Nanoanalysis FR blog

Qu’est-ce que l’EBSD – Géométrie TKD

07-11-2022 | auteure: Brooke Matat Jablon, PhD

Qu’est-ce que l’EBSD – Géométrie TKD

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La diffraction électronique rétrodiffusée (EBSD) est une technique basée sur un microscope électronique à balayage (MEB) qui fournit des informations cristallographiques sur la microstructure d'un échantillon. Dans l’EBSD, un faisceau d'électrons interagit avec un échantillon cristallin incliné et génère un cliché. Le cliché est caractéristique de l'orientation cristalline de l'échantillon où il a été généré. Par conséquent, le cliché peut être utilisé pour déterminer l'orientation des cristaux, faire la distinction entre des phases cristallographiquement différentes, caractériser les joints de grains et fournir des informations sur les imperfections cristallines.

Cette série de blog couvrira la préparation d’échantillon, la génération de clichés Kikuchi, des conseils pour l’acquisition des données, la diffraction en transmission des clichés Kikuchi (TKD) et bien d’autres sujets. Dans le blog précédent, nous avons évoqué le concept de ‘Transmission Kikuchi Diffraction’ ou TKD.

Il existe 2 géométries différentes couramment utilisées pour les analyses TKD : off-axis et on-axis. Celles-ci sont représentées schématiquement sur la figure 1.

Figure 1. Illustration schématique montrant les géométries TKD on-axis et off-axis.

Les deux approches ont leurs avantages respectifs, mais les performances et la résolution sont globalement similaires. Le tableau ci-dessous compare les avantages et les inconvénients des deux géométries TKD.

Dans ce blog, nous avons parlé des différents types de géométries TKD. Dans le prochain blog, nous discuterons des routines de détection de bande optimisées développées pour le off-axis TKD. Après cela, nous commencerons une mini-série sur les termes importants de l'EBSD (comme le centre du cliché, la résolution MAD et Hough). Si vous avez des suggestions ou des questions, vous pouvez les transmettre ici.

Les détecteurs EBSD sont courants dans les microscopes électroniques à balayage. Pour en savoir plus sur l’EBSD ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.