La spectroscopie de rayons X à dispersion de longueur d'onde ou ‘Wavelength Dispersive spectroscopy’ (WDS) permet une analyse élémentaire et chimique d'un échantillon à l'intérieur d’un microscope électronique (MEB, MET, FIB) ou d’une microsonde. Les détecteurs WDS d'Oxford Instruments fonctionnent avec le logiciel AZtecWave, qui recueille des données précises à l'échelle micro et nanométrique.

Cette série de blogs servira d'introduction au WDS et couvrira la préparation d'échantillons, la génération de rayons X, l'analyse qualitative et quantitative, et bien d’autres sujets. Dans le dernier article de blog, nous avons traité de l'automatisation de l'acquisition des données WDS. Ici nous discuterons de l’acquisition simultanée des données EDS et WDS.

Une différence majeure entre le WDS et l’EDS est que le WDS mesure une énergie de rayons X (c'est-à-dire une ligne d'élément) à la fois, tandis que l’EDS collecte simultanément le spectre d'énergie complet. Cela fait du WDS une technique plus lente par rapport à l'EDS, en particulier lors de l'utilisation d'un seul spectromètre WD. Notre solution pour rendre plus efficace l'analyse compositionnelle à l'aide d’un MEB-WDS consiste à la combiner avec EDS.

Le spectromètre Wave et le logiciel AZtecWave sont entièrement intégrés à nos détecteurs EDS, ce qui signifie que les analyses WDS et EDS peuvent être combinées (Figure 1). Cela en fait un système puissant et très efficace pour l'analyse de la composition dans le MEB. Les éléments majeurs-mineurs, et ceux qui ne sont pas affectés par les chevauchements de pics, peuvent être mesurés et quantifiés avec précision à l'aide de nos détecteurs EDS et du traitement de données Tru-Q disponible dans AZtecLive. Cela permet au spectromètre Wave d'être utilisé efficacement lorsque cela est nécessaire, soit pour la quantification des éléments traces, soit pour résoudre et quantifier les éléments affectés par les chevauchements de pics. Le logiciel AZtecWave permet d'effectuer simultanément les analyses EDS et WDS et de rassembler les données pour donner des résultats de composition quantitatifs très précis pour un échantillon, par exemple lorsque les principaux éléments ont été mesurés via l’EDS et les éléments traces via le WDS.

Figure 1. Acquisition simultanée d'EDS et de WDS.

Dans cet article, nous avons vu l'automatisation de l'acquisition des données WDS. Dans le prochain blog, nous traiterons du choix d'un cristal WDS pour l'acquisition de données.

Les spectromètres WDS sont courants dans les microscopes électroniques à balayage et les microsondes. Pour en savoir plus sur le WDS ou pour planifier une démonstration, contactez un spécialiste des applications d'Oxford Instruments ici.

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